Шлифовальные жидкости делятся по механизму действия: шлифовальные жидкости механического действия, шлифовальные жидкости химико-механического действия.
Жидкость для механического шлифования: алмаз, B4C и т. д. используются в качестве абразивов, диспергируемых в жидкой среде путем добавления диспергаторов и т. д., с образованием жидкости с эффектом шлифования, называемой жидкостью для шлифования алмазов, жидкостью для шлифования карбида бора и т. д. свободно распределяется в дисперсионной жидкости, а шлифование и утончение заготовки осуществляется по принципу, согласно которому твердость абразива больше твердости обрабатываемой детали. В зависимости от поверхности абразива, размера частиц, конфигурации шлифовальной жидкости, стабильности шлифовального оборудования и т. д., после завершения шлифования на поверхности легко остаются большие или маленькие царапины. заготовка. Поэтому абразивы механического действия обычно используются для грубой шлифовки с последующей прецизионной шлифовкой и полировкой.
Химико-механическая шлифовальная жидкость: Химико-механическая шлифовальная жидкость использует принцип «мягкого шлифования и закалки» при износе, то есть полировки более мягкими материалами для получения высококачественной полированной поверхности. Это сочетание механического шлифования и химической коррозии. Он образует гладкую и ровную поверхность на поверхности измельченной среды за счет измельчающего действия и химического коррозионного действия ультрадисперсных частиц. Поэтому химико-механическая полирующая жидкость также называется химико-механической полирующей жидкостью (химико-механическая полировка, именуемая CMP). При наличии определенного давления и полировальной суспензии полируемая деталь перемещается относительно полировальной подушки, и на поверхности полируемой детали образуется гладкая поверхность за счет органического сочетания шлифовального эффекта наночастиц и коррозионное действие окислителя.
