Химико-механический полировальный станок представляет собой инструмент для проверки процессов, используемый в области электроники и коммуникационных технологий, авиационной и аэрокосмической науки и техники.
Используйте деионизированную воду для наклеивания кремниевых пластин или используйте кремниевые пластины с вакуумной адсорбцией для полировки, отказавшись от традиционного способа нанесения воска и наклеивания кремниевых пластин, что способствует очистке кремниевых пластин после полировки. 2. Функция противодавления значительно улучшает равномерность полировки. 3. Оснащен системой определения конечной точки полировки для предотвращения чрезмерной полировки. Взяв в качестве примера SiO2, WIWNU (неравномерность внутри кристалла) Менее или равно 3 процентам, WTWNU (неоднородность внутри кристалла) Менее или равно 5 процентам и RMS (20 мкм ×20 мкм) меньше 0,4 нм.
